第1885章

“秦总，您提出来的浸润式光刻机路线，完全正确，我们成功地将193纳米的光源，降低到了134纳米，而且没有产生其他的不利后果，利用这种设备，我们足以把工艺制程推进到28纳米以下！”

张汝金是最高兴的，他的芯片厂，可以开足马力生产了！

“对于目前已经成熟的0。13微米生产工艺，我们只需要一次曝光就能完成，生产效率大幅度提升，成本也能降低三分之一以上！”

之前用193纳米的光源，需要多次曝光，才能实现0。13微米的工艺生产，当然，继续多重曝光，还能做到90纳米，甚至是更小，但是业界都认为，65纳米是多次曝光的极限了。

现在，浸润式光刻机，成功地把光源降低到了134纳米！0。13微米工艺，一次曝光就行！继续多重曝光，28纳米都不是梦，甚至还能继续推进到几纳米的水平！

当然，那样做良品率会下降得可怕，但是如果EUV光刻机研发遇到难题的时候，也可以先凑合。

徐教授在一旁，也很是骄傲，这几年，来阳集团一直在砸钱，支持他的研发，烧掉了十几亿，终于，国产光刻机搞出来了，还是全世界最先进的！

还好，没有给集团丢脸，集团不管搞什么，都要搞到世界第一！

“秦总，我们的芯片工厂。。。。。。”一旁传来了威盛公司负责人的声音。

威盛因为受到了迫害，不得不搬回了大陆，和中芯国际挨着，因为没生产工厂，现在只剩下设计芯片的能力。

他们也在等待着自己的芯片工厂呢！

“你们放心，今年内，咱们一定可以给你们威盛供货，让你们把自己的芯片工厂建立起来！”秦川说道：“威盛是我们最亲密的战略盟友，我们对朋友，一向都是最真诚的！”

王雪和陈文对视一眼，都看到了对方眼睛里的兴奋，有了这么先进的生产线，他们的工艺，当然也要直接进入0。13微米时代！